新闻
首页>新闻>正文

我研发成功高端激光干涉测量仪器

2019-06-0610:18:25来源:科技日报

x

分享到微信朋友圈

使用“扫一扫”即可将网页分享到朋友圈

科技日报北京6月4日电 (记者马爱平)“针对光刻机等苛刻测量环境中实现多自由度干涉测量的需求,我们提出了基于棱镜误差矢量分析的单体集成多轴干涉仪组件设计方法,研发出从2轴到5轴的系列化单体式多轴干涉仪组件,打破了国外企业的垄断和对我国的出口限制。”4日,清华大学长聘教授、精密仪器系学术委员会主任李岩告诉记者。

激光干涉测量是实现超精密测控和微纳尺度测量的最有效手段之一。在国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(02专项)等项目支持下,由李岩等完成的“高测速多轴高分辨率激光干涉测量技术与仪器”项目,突破一系列关键技术瓶颈,形成了测量新方法、系统及仪器。

李岩介绍,项目实现了从干涉仪组件、信号探测解调到多自由度探测方案设计的全链条自研开发的高测速、多轴大量程、高分辨率激光干涉测量系统。

截至目前,项目团队所研发的光刻机用双频激光干涉仪系统,应用到我国自研光刻机工件台样机研发过程中,累计应用50余台套,满足了光刻机双工件台样机的精密测量需求,减轻了对国外高端干涉仪的依赖,降低了其产品对我国出口限制所造成的研发风险。

李岩说,比如项目开发的亚纳米分辨率可溯源外差干涉仪,应用到激光多维测量系统研究与开发的比对检定研究中,找出了激光多维测量系统非线性误差原因,并用专门的电路加以校正,提高了相关单位激光多维测量系统的性能,所提出的可溯源干涉测量新方法,为摩尔单位采用阿伏伽德罗常数重新定义作出了贡献。

“项目的成功,打破了外国对我国高端激光干涉测量仪器的限制和垄断,为我国高端装备和仪器研发提供性能稳定且不受制于外国的测量及溯源能力,丰富了激光干涉测量理论与技术,具有非常重要的技术、经济和社会效益。”李岩说。

责任编辑:范逸昕(EK004)

热点聚焦

头条新闻

  • 活人不能让沙子欺负!新疆一对夫妇35年种树80万棵

    一对“倔强夫妇”付志强和爱人陈爱兰坚守沙河子,种树防沙一干就是35年,目前已种了80万棵树,按照两棵树间距4米计算,这些树排队可以排到北京。

  • “别紧张,有我在!”护士“熊抱”心衰产妇完成麻醉

    由于患有心衰,产妇赵女士(化名)不能平卧接受麻醉,淮安市妇幼保健院护士苏梦瑶将赵女士抱入怀中,成为她最有力、最温暖的依靠。

  • 河南俩“90后”小伙同日捐造血干细胞救人

    6月3日,河南两名“90后”小伙儿孙俊飞、李晖分别在河南省肿瘤医院、河南省人民医院完成造血干细胞捐献,由他们捐献的“生命种子”将救助天津、广州两位患者的生命。

  • 脑瘫患儿想当消防员 消防蜀黍助其圆梦

    新乡市经济开发区消防大队了解到小江涛的愿望以后,精心准备,将小江涛接入大队,帮助他圆梦!5月21日,小江涛到达营区后,脸上洋溢着灿烂的笑容,在轮椅上向消防员们开心地敬了个礼。

  • 怪老头穿花棉袄跑马拉松 真相让人泪目

    “这是我老伴生前的衣服,我想带着她一起跑……”奚占玉说。因为家里条件一直不好,这件大红布、绣着牡丹花的棉袄老伴穿了30年。“这样的衣服,她就这一件,年年都穿,穿完了再洗干净放起来。”

点击加载更多

频道推荐

  • 社会
  • 娱乐
  • 生活
  • 探索
  • 历史
关闭 北青网新闻客户端